Aston 質譜分析儀搭配 Scrubber 半導體尾氣處理設備進行氣體檢測

2024年10月17日 13:07:26人氣：59來源：伯東企業（上海）有限公司

半導體工藝一般會產生各種工藝氣體和顆粒材料副產品, 有害氣體需要以受控方式進行處理. 上海伯東日本 Atonarp Aston 質譜分析儀與 Scrubber 半導體尾氣處理設備聯用, 對處理完的氣體在線監測分析, 并對分析數據進行監控和記錄, 使其符合環境法規.

上海伯東 Aston™ 質譜分析儀半導體尾氣檢測解決方案
Aston 質譜儀與半導體尾氣處理設備排氣端相連, 半導體廢氣處理設備 Scrubber 排出的氣體先經過水洗塔內進行噴淋水洗溶解, 帶走一些毒性腐蝕性排放物, 然后在使用 Aston 進行剩余氣體檢測和分析, 主要檢測 N2O 濃度等, 使其符合國際減排指標.

使用 Aston™ 質譜分析儀優勢
體積小, 便于攜帶, 整機重量僅 13.7 KG
與 GCMS 測試對比, 時時檢測, 不用特別取樣, 實現快速地減排氣體監測
可以根據進入的廢氣濃度和測量的排放氣體數據, 記錄日志
能夠承受嚴酷的 PFC 和酸性 (如 HF 和 HCl ）氣體
低至 PPB 水平的靈敏度

Aston 質譜儀技術參數

	質量分辨率	0.8 u
	質量穩定性	0.1 u
	靈敏度(FC / SEM)	5x10-6 / 5x10-4 A/Torr
	檢測極限	10 ppb
	工作壓力	1X10-3 torr
	每單位停留時間	40 ms
	每單位掃描更新率	37 ms
	發射電流	0.4 mA
	發射電流精度	0.05%
	啟動時間	5 mins
	離子電流穩定性	< ±1%
	濃度的準確性	< 1%
	濃度穩定性	±0.5%
	電力消耗	350W
	重量	13.7 Kg
	尺寸	400 x 297 x 341 mm

Aston™ 是一款全新設計堅固耐用的緊湊型在線質譜儀, 適用于半導體制造和工業過程控制應用中氣體監測和控制, 高定量精度和實時性與生產穩健性和可靠性相結合, 例如半導體 dry pump 尾氣偵測分析, 實現在線監控, 診斷.

若您需要進一步的了解 Atonarp Aston™ 在線質譜儀詳細信息或討論,
請聯絡上海伯東: 葉女士

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關鍵詞：質譜儀分析儀氣體檢測工業過程控制氣體在線監測

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