型號(hào)

QV-APEX302PRO
QV-APEX302PRO2
QV-APEX302PRO3
QV-HYPER302PRO

QV-APEX404PRO
QV-APEX404PRO2
QV-APEX404PRO3
QV-HYPER404PRO

QV-APEX606PRO
QV-APEX606PRO2
QV-APEX606PRO3
QV-HYPER606PRO

測(cè)量范圍      X軸

Y軸

Z軸

300mm

400mm

600mm

200mm

400mm

650mm

200mm

250mm

250mm

分辨率

0.1μm[0.02μm]

高靈敏度CCD照相機(jī)

黑白(PRO3型號(hào):彩色)

精度*             E1XY

(20°C±0.2°C)   E1Z

E2XY

(1.5+3L/1000)μm[(0.8+2L/1000)μm]

(1.5+4L/1000)μm[(1.5+2L/1000)μm][PRO2型號(hào):(4.0+5L/1000)μm]

(2+4L/1000)μm[(1.4+3L/1000)μm][PRO2型號(hào):(2.5+4L/1000)μm]

照明              表面

(PRL：可編程環(huán)行燈)輪廓

PRL

LED,RGB(PRO2和PRO3型號(hào):鹵素?zé)?

LED,白色(PRO2和PRO3型號(hào):鹵素?zé)?

LED,RGB(PRO2和PRO3型號(hào):鹵素?zé)?

放大倍率變化系統(tǒng)

可編程電動(dòng)轉(zhuǎn)盤(PRO2型號(hào):程控倍率透鏡)

zui大驅(qū)動(dòng)速度   X/Y 軸

Z 軸

300mm/s[200mm/s]

400mm/s[200mm/s]

400mm/s[200mm/s]

300mm/s[200mm/s]

300mm/s[200mm/s]

300mm/s[200mm/s]

工作臺(tái)玻璃尺寸

399x271mm

493x551mm

697x758mm

zui大工件高度

200mm

250mm

250mm

zui大工件負(fù)載

20kg[15kg]

40kg[30kg]

50kg[40kg]

尺寸(DxH)**

784x860x1535mm

1040x1220x1765mm

1310x1861x1821mm

重量**

383kg

662kg

1848kg