半導(dǎo)體晶圓切割/劃片機(jī)氣浮主軸

半導(dǎo)體晶圓切割/劃片機(jī)氣浮主軸

半導(dǎo)體晶圓切割/劃片機(jī)氣浮主軸，是日本中西nakanishi 生產(chǎn)的一種高精度主軸，它采用氣浮軸承和渦輪結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了主軸在加工過(guò)程中的無(wú)摩擦旋轉(zhuǎn)，從而保證了產(chǎn)品的加工精度。

1. 高精度：中西Nakanishi氣浮主軸的旋轉(zhuǎn)跳動(dòng)精度在1μm以內(nèi)，能夠滿足高精度加工的需求。

2. 高速旋轉(zhuǎn)：主軸的轉(zhuǎn)速可高達(dá)16萬(wàn)轉(zhuǎn)每分鐘，適用于高速加工場(chǎng)景。

3. 長(zhǎng)壽命：由于采用氣浮軸承，主軸在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中沒(méi)有機(jī)械接觸，因此磨損程度極低，延長(zhǎng)了主軸的使用壽命。

4. 適用范圍廣：中西Nakanishi氣浮主軸可夾持不同尺寸的刀具柄徑，適用于多種加工需求。

精密氣浮主軸ABT-1000 

    外徑：φ40mm

    轉(zhuǎn)速：100,000轉(zhuǎn)/分鐘

    跳動(dòng)精度：1μm以內(nèi)

    輸出功率：88W

    重量：820g

    軸承氣壓：0.55MPa （空氣消耗量：50Nm3/min）

    渦輪空氣壓力0.55MPa （空氣消耗量：135Nm3/min）

    軸承許用載荷能力

    徑向：20N 或更小

    推力：35N 或更小

    筒夾（CHA組）：φ0.5~φ4.0mm

    夾頭螺母： (CHN-3A)

精密氣浮主軸ABT-1600 

    外徑：φ40mm

    轉(zhuǎn)速：160,000轉(zhuǎn)/分鐘

    主軸跳動(dòng)精度：1μm以內(nèi)

    輸出功率：63W

    夾頭：CHA組（φ0.5～4.0mm）

    重量：570g

    軸承氣壓:0.5MPa（空氣消耗量：35/min）

    渦輪空氣壓力： 0.5MPa（空氣消耗量：150/min）

    軸承許用載荷能力

    徑向：10N 或更小

    推力：20N 或更小

    筒夾（CHA組）：φ0.5~φ4.0mm

    夾頭螺母: (CHN-3A)

精密氣浮主軸具體應(yīng)用場(chǎng)景

1、精密加工

適用于高精度車(chē)削、銑削、磨削等加工，尤其在光學(xué)元件、模具、精密零件制造中表現(xiàn)突出。

2、半導(dǎo)體制造

用于晶圓切割、拋光等環(huán)節(jié)，滿足半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)高精度和低振動(dòng)的需求。

3、光學(xué)元件加工

適合加工透鏡、棱鏡等光學(xué)元件，確保高表面質(zhì)量和精度。

4、科研實(shí)驗(yàn)

在材料科學(xué)、納米技術(shù)等領(lǐng)域的精密實(shí)驗(yàn)設(shè)備中，用于高精度定位和加工。

5、航空航天

用于加工高精度航空航天零件，如渦輪葉片、發(fā)動(dòng)機(jī)部件等，滿足高可靠性和精度的需求。

6、電子行業(yè)

用于PCB板鉆孔、精密零件加工等，確保高精度和低損傷。

總結(jié)

深圳市春亨工具儀器有限公司精密氣浮主軸憑借其高精度、低振動(dòng)和高速性能，廣泛應(yīng)用于精密加工、半導(dǎo)體、光學(xué)、醫(yī)療、科研、航空航天和電子等領(lǐng)域。